Kaip pagrindinę integruotų grandinių pramonės įrangą, kai kurie žmonės litografijos mašiną vadina „GG“; moderniausia ir sudėtingiausia žmonijos mašina „GG“. Kaip svarbiausia mikroschemų gamybos įranga, litografijos mašina taip pat žinoma kaip GG; ekspozicijos mašina" kaip pagrindinę lustų gamybos įrangą. vienas. Litografijos aparatas yra prietaisas, kuris ultravioletinių bangų ilgio eksimeriniu lazeriu pašalina apsauginę plėvelę nuo plokštelių paviršiaus per šabloną, o po to pamerkia plokštelę ėsdinančioje medžiagoje. Dalis, praradusi apsauginę plėvelę, išgraviruojama, kad susidarytų grandinė.
Dažniausiai naudojama litografijos mašina yra kaukių derinimo litografija, o bendras litografijos procesas apima silicio plokštelių, dugno dangos, nugarinės dangos fotorezisto, minkšto kepimo, derinimo ekspozicijos, po kepimo, kūrimo, kieto kepimo, ėsdinimo ir valymo paviršių. kiti procesai. Litografijos mašinos kokybė tiesiogiai lemia, kokio lygio lustai gali būti gaminami, o tai rodo jo svarbą.
Ir šiais metais tiek „Apple“, tiek „Samsung“, tiek „Huawei“ ruošiasi kurti naujas 5 nm mobiliųjų telefonų mikroschemas. Nesvarbu, ar tai „Apple' s A14“, „Qualcomm&# 39“ „Snapdragon 888“ lustai, ar „Samsung Exynos 1080“, „Kirin 9000“ ir kt., Visi reiškia aukščiausio lygio pramonės' 5 nm lustus. 5G ir mobiliojo ryšio srityje galima pastebėti, kad ruošiasi įvairūs gamintojai. Atrodo, kad 5 nm mikroschemos pasiekia savo ribas, tačiau ateityje mikroschemos toliau tobulės ir tobulės, o dar didesni technologiniai proveržiai vis dar nežinomi, o litografijos mašina turi atlikti tam tikrą vaidmenį. Nepamainomas ir svarbus vaidmuo.
Kaip viena sudėtingiausių tiksliųjų įrenginių pasaulyje, be lustų gamybos, iš tikrųjų yra ir litografija pakuotėms arba projekcinė litografija LED gamybai. Šiuo metu mano šalies aukščiausios klasės litografijos mašinos yra importuojamos iš Olandijos ASML. Tiesą sakant, nepaisant aukštos klasės lustų gamybos ar projektavimo, Vakarų šalys monopolizavo vieno langelio projektavimo ir gamybos paslaugą. Šias mano šalies pramonės šakas šiuo metu kontroliuoja kiti.
Visuotinis litografijos mašinos modelis
Šiuo metu pagrindiniai pasaulinių litografijos mašinų gamintojai yra šie: ASML, „Nikon“, „Canon“, „Otech“, Šanchajaus mikroelektronikos įranga, SUSS, ABM, Inc. mašinos. Skiriamoji geba paprastai yra tarp septynių nanometrų ir kelių mikrometrų. Aukščiausios klasės litografijos mašinos yra žinomos kaip tiksliausi instrumentai pasaulyje. Yra 1,2 litografijos aparatas, kurio vertė yra milijardas dolerių.
Aukščiausios klasės litografijos aparatą galima pavadinti šiuolaikinės optikos pramonės gėle, o jo gamyba yra tokia sunki, kad tik kelios kompanijos pasaulyje gali ją pagaminti. Tai daugiausia trys pagrindiniai užsienio prekių ženklų ženklai: ASML iš Olandijos, „Nikon“ iš Japonijos ir „Canon“ iš Japonijos.
Prieš tai pirmaujančio pasaulinio litografijos mašinų gamintojo ASML prezidentas sakė, kad net jei brėžiniai būtų viešai paskelbti, mes niekada negalėsime imituoti aukščiausių litografijos mašinų.
Tiesą sakant, ASML turi 90% rinkos dalį panašiuose' produktuose ir beveik 100% rinkos dalį žemiau 10 nm mazgo, beveik monopolizuodama pasaulinę aukščiausios klasės lustų gamybos šerdį. Jų bendrovės „GG # 39“ pelnas per pastaruosius kelerius metus pasiekė 2-3 milijardus eurų. Kiti tos pačios pramonės konkurentai iš esmės nesugebėjo pasivyti, ir net JAV yra nepasiekiamos.
Įvedus JAV sankcijas ir draudimus parduoti, vienintelė išeitis mano šalies „GG # 39“ litografijos mašinai yra nepriklausomi tyrimai ir plėtra. Nors ASML gali išlaikyti lyderio pozicijas technologijose ir rinkoje, tačiau ateityje atsiras technologinių pokyčių, technologinių naujovių ir proveržių, šios spragos bus mažinamos greičiau.
Šiuo metu užsienio aukščiausios klasės mikroschemų tiekimo grandinės kanalai yra labai suvaržyti. Didžiausia problema šiuo metu yra tai, kaip išgyventi aukščiausios klasės mikroschemų R& D, ir gaminti nepriklausomus tyrimus ir plėtrą.